Plattform 250 x 250 mm Apertur: 176 x 176 mm Verfahrweg: 150 x 150 mm Wiederholgenauigkeit: +/- 1 µm Positionsgenauigkeit 10 µm@130 mm Auflösung (1/8 Schritt): 0.625 µm Geschwindigkeit max. 30 mm / sec Belastung: 8 kg
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