8MTLF130-36XY-LEn1 - Microscope XY Stage

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  • Artikel-Nr.: 644626210
  • RoHS: RoHS konform
  • Warentarifnr.: 9031908590/LT
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Microscope XY Stage  mit BLDC Linearmotoren   Verfahrbereich: 130 × 128 mm... mehr
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Produktinformationen "8MTLF130-36XY-LEn1 - Microscope XY Stage"

Microscope XY Stage mit BLDC Linearmotoren

 

  • Verfahrbereich: 130 × 128 mm
  • Extrem kompaktes spielfreies Direktantriebsdesign (Dicke: 36 mm)
  • Auflösung: bis zu  <5 nm
  • Hochauflösender berührungsloser optischer Inkremental-Encoder
  • RMS bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,25 µm
  • Maximale Geschwindigkeit: >500 mm/s
  • Maximale Beschleunigung: >7500 mm/s2
  • Hochpräzises Linearführungs- und Schlittensystem mit Käfigkugeln
  • Garantiert langlebige Leistung
  • Einfache Integration in metrische/imperiale optomechanische und bildgebende Systeme
  • Einsetzbar für industrielle Anwendungen wie Metrologie, Mikroskopie, Mikrobearbeitung
  • Lichte Apertur: 208 × 140 mm
  • Verfügbar für OEM-Integration in hohen Stückzahlen
  • Alle Messberichte sind standardmäßig enthalten!

 

Spezifikationen

Plattform350 × 268 mm
AchsenX, Y
Orthogonalität24 µrad (5 arcsec)
Guiding SystemLineare Kugelumlaufführungen
Verfahrbereich130 x 128 mm
EncoderOptisch, Typ LEn1
Encoderauflösung< 5nm
EncoderinterfaceDifferential RS422 oder Analog Sin/Cos
Interer MultiplekatorJa, Faktor: ×4 - 4096
Encodergitterperiode20 µm
Referensmarke (Index)Ja
Absolute Genauigkeit (nach Kalibrierung)

X-Achse: ±0.6 µm

Y-Achse: ±0.9 µm

Wiederholbarkeit biedirektional (Peak to Peak)<0.25 µm, beide Achsen
Pitch

X: ±7,5 µrad  (±1,55 arcsec)

Y: ±80 µrad   (±16,5 arcsec)

Yaw

X: ±7,5 µrad  (±1,55 arcsec)

Y: ±20 µrad   (±4,2 arcsec)

Roll

X: ±7,5 µrad  (±1,55 arcsec)

Y: :±20 µrad  (±4,2 arcsec)

Max. Geschwindigkeit (Load 1 kg)>500 mm/s
Max. Beschleunigung (Load 1 kg) >7500 mm/s2
EndschalterOptisch, Pushed is closed, 5 … 24 V
Material HousingAluminium, schwarz eloxiert
Größe400 × 324 × 36 mm
UmgebungsbedingungenNormalatthmosphäre, 20 ± 2 °C
Kabellänge<5 m
MesssystemMetric / Imperial
Protection levelBasic
RoHSCompliant
Empfohlener ControllerACS: SP+EC
Empfohlener TreiberACS: UDM
Empfohlenes KommunikationsinterfaceEtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Differenzielle AusgängeAuf Anfrage

 

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