8MTL20XY - XY Precision Compact Planar Table

8MTL20XY.jpg
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  • Artikel-Nr.: 644626059
  • RoHS: RoHS konform
  • Warentarifnr.: 9031908590/LT
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Kompakter XY-Präzisionsplanartisch mit Apertur Spielfreies Direktantriebssystem... mehr
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Produktinformationen "8MTL20XY - XY Precision Compact Planar Table"

Kompakter XY-Präzisionsplanartisch mit Apertur


  • Spielfreies Direktantriebssystem
  • Verfahrbereich: 20 x 20 mm (planar)
  • Auflösung: <1 nm
  • Messgenauigkeit: < ±0,15 µm (kalibriert auf Last)
  • Bidirektionale Wiederholbarkeit (RMS): ±0,075 µm
  • Maximale Geschwindigkeit: >500 mm/s
  • Maximale Beschleunigung: >45000 mm/s2
  • Bis zu 15 kg Tragfähigkeit
  • Niedriges Profil, kompakte Stellfläche, hohe Kompatibilität
  • Garantiert langlebige Leistung


Spezifikationen

Plattform133 x 142 mm
AperturDurchmesser 80 mm
Stage Dimensionen180 x 170 x 51 mm
Verfahrweg20 x 20 mm
Orthogonalität24 µrad (5 arcsec)
EncoderOptisch, Typ Len1
Encoder Auflösung

25 nm via integriertem Interpolator

<1 nm via Treiber

Encoder InterfaceDifferential RS422 oder Analog Sin/Cos
Integrierter Multiplikator

Ja

bis x200 via integriertem Interpolator

bis x65536 via Treiber

Encoder Gitterperiode20 µm
ReferenzmarkeJa (in Mitte des Verfahrweges)
Positionsgenauigkeit

vor Kalibrierung ±2,50 µm

nach Kalibriereung ±0,15 µm

Bi-Direktionale Wiederholbarkeit (peak to peak)±0.1 µm
Bi-Direktionale Wiederholbarkeit (RMS)±0.075 µm
Pitch±25 µrad (±5 arcsec)
Yaw±13 µrad (±3 arcsec)
Roll±25 µrad (±5 arcsec)
Maximalgeschwindigkeit (Last 4 kg) >500 mm/s
Maximalbeschleunigung (Last 4 kg)>45000 mm/s2
EndschalterOptisch, Pushed is closed, 5...24 V
MotorIronless BLDC Linear Motor Stage; Planar Design; LM9
Max. Busspannung>80 VDC
Belastbarkeit15 kg, zentral platziert
Moving MassX = 1,1 kg; Y = 0,45 kg
FührungssystemLinearschienen mit Laufwagen
MaterialAluminium, schwarz eloxiert
Anschlussleitung2 m (oder auf Anfrage)
Gewicht1,8 kg
RoHSCompliant
Empfohlener Controller/TreiberACS Produkt Linie oder 8SMC5-USB


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