Ausführung Mit Rotationsencoder MEn4, TTL Interface Plattform 335 x 380 mm Führung Hochpräzise Umlauf-Linearschienen und Wageneinheiten Verfahrwege 200 x 200 mm Spindelsteigung 2 mm Min. Inkrementelle Bewegung 0,1 µm Encoderauflösung 0,1 µm Encoder Gitterperiode 0,018° Encoder Referenzindex Ja
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