8MT200XY-4247-MEn1 - XY Positioning Stage

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Preis auf Anfrage



  • 644623223
  • 9031908590/LT
Motorisierter XY Kreuztisch mit Encoder   Verfahrbereich: 200 x 200 mm... mehr
Produktinformationen "8MT200XY-4247-MEn1 - XY Positioning Stage"

Motorisierter XY Kreuztisch mit Encoder

 

  • Verfahrbereich: 200 x 200 mm
  • Auflösung: bis <1 nm
  • Ultrapräzise Kugelumlaufspindel
  • Hochauflösendes berührungsloses optisches Inkremental Encoder (Dual-Loop-Modus)
  • Ultrapräzise Linearführung mit Umlaufkugeln
  • Kabel können für verschiedene OEM-Elektronik angepasst werden
  • Langlebige Leistung garantiert
  • Einfache Integration in metrische / imperiale optomechanische Systeme
  • Anwendungen: Mikroskopie, Messtechnik Laserschneiden, Ritzen, Bohren, Markieren Solides integriertes planares Design mit oder ohne Blende u.v.m.
  • Alle Messberichte sind standardmäßig enthalten!


Spezifikationen

AusführungMit Rotationsencoder MEn1, TTL Interface
Plattform335 x 380 mm
FührungHochpräzise Umlauf-Linearschienen und Wageneinheiten
Verfahrwege

200 x 200 mm

Spindelsteigung2 mm
Min. Inkrementelle Bewegung

0,625 µm 

Encoderauflösung0,5 µm
Encoder Gitterperiode0,09°
Encoder ReferenzindexJa
Positionsgenauigkeit

Vor Kalibrierung ±8 µm / 100 mm

Nach Kalibrierung ±3 µm / 100 mm

Wiederholbarkeit

Uni-direktional:: ±0,5 µm

Bi-direktional (peak to peak): ±2 µm

Bi-direktional (RMS): ±1,5 µm

Pitch±100 µrad / ±20,63 arcsec
Yaw30 µrad / ±6,19 arcsec
Roll±30 µrad / ±6,19 arcsec
Orthogonalität73 µrad / 15 arcsec
Maximalgeschwindigkeit30 mm/s (4 kg Last)
Maximalbeschleunigung150 mm/s2 (4 kg Last)
Belastbarkeit8 kg (Moving mass 9,5 kg)
MaterialAlluminium, schwarz eloxiert
EndschalterHall-Sensoren, Pushed is open, 5...24 VDC
Kabellänge2 m (weitere auf Anfrage)
MotorModell 4247, 2 Phasen Schrittmotor, bipolar
Spannung3,84 V
Phasenstrom1,2 A
Phasenwiderstand3.2±10% Ohm
Induktivität6±20% mH
Rastmoment15,5 mNm
Haltemoment0,45 Nm
Schritte / Umdreh.200 (1,8°)
Maximale Busspannung48 VDC
UmgebungAtmossphäre, 20±2 °C
RoHSCompliant
SchutzstufeOptional mit spezieller Abdeckung (mit Luftspülung und Staubschutz)
Empf. Controller8SMC5-USB oder ACS Produktlinie
Empf. NetzteilPS36-4.4-4


Reinraum- und Vakuum-kompatible Versionen verfügbar.

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