Verschiebetisch für Vakuum bis 10-6 torr
Spezifikationen
Verfahrweg: 10mm
Einstellempfindlichkeit: 1 µm
Ablesegenauigkeit: 5 µm (1/2 Skalenteilung)
Führungsgenauigkeit:: 2µm
Max. Belastung:
Horizontal: 6 kg
Vertikal: 3 kg