Aktive Schwingungsisolation in allen 6 Freiheitsgraden
Für anspruchsvollste Anwendungen in den Bereichen Metrologie, Mikroskopie, Halbleiterproduktion und Qualitätskontrolle,In-vitro-Fertilisation usw.
Erfüllt die Kriterien für extrem niedrige Vibrationen VC-L gemäß ISO/TS 10811-2 ab 1 Hz und VC-N über 10 Hz.
Key Features:
Ermöglicht eine nahezu schwingungsfreie Basis für wissenschaftliche Anwendungen
Robuster Betrieb: aktive Kontrolle von Schwingungen mit Amplituden >1,5 mm
Automatische Nivellierung mit einer Genauigkeit von 25 µm
Verfügbare Größen: 500x400 mm, 600x500 mm, 600x600 mm
Nutzlastkapazität: 65 kg und 150 kg
Flaches und leichtes Design, einfach zu installieren und zu bedienen
Spezifikationen
-13 dB@1 Hz
-20 dB@5 Hz
>50dB@100 Hz
